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平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的平面度。 
平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件，例如，平面光學(xué)零件、高級(jí)平臺(tái)、平板、導(dǎo)軌、密封件等。平面平晶特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。
平面平晶的技術(shù)參數(shù)（備注：特殊規(guī)格可根據(jù)客戶要求定做）